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198彩江苏快三:一种脉冲溅射电源

申请号/专利号:

201510119733.1

申 请 日: 2015-03-19
名 称: 一种脉冲溅射电源
公开(公告)号: 104753386A 公开(公告)日: 2015-07-01
主分类号: H02M9/06(2006.01)I 分案原申请号:
分 类 号: H02M9/06(2006.01)I
颁 证 日: 优 先 权:
申请(专利权)人:

唐山标先电子有限公司

*相关专利
地 址: 064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西
发明(设计)人:

李红泽 窦久存

*相关专利
国际申请:
国际公布: 进入国家日期:
专利代理机构: 代 理 人:
想进一步了解专利详情,请 想以后再联系,请
专利描述:
一种脉冲溅射电源,包括顺序连接的三相整流电路、逆变电路、高频变压器、整流滤波电路、脉冲发生电路;其特征在于:包括中央处理器、驱动电路、信号采集???、?;つ??、上位机、液晶显示???、信号输入???;所述中央处理器为ARM系统;所述信号采集??榘ǖ缪共裳缏?、电流采样电路;所述?;つ?榘ü骷岸搪繁;さ缏?;本发明解决现有技术中功率开关管过多造成的电源可靠性下降,提供一种动态特性好、成本较低、控制简单可靠、具有能量回馈的一种脉冲溅射电源。本发明还公开了一种基于上述脉冲溅射电源的控制方法。
标签:标先电子 电源
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